VAKUUMVORGESPANNTE LUFTLAGER

Bei Anwendungen, bei denen das Vorspannen schwierig oder unmöglich ist, erzeugen vakuumvorgespannte Luftlager ein Vakuum für die New Way Porous Media™-Technik. Diese Lager halten sich einfach selbst nach unten, während sie sich gleichzeitig selbst von der Leitoberfläche abheben.

Mit einer Kombination von Luftdruck und Vakuum halten sich New Way VVG Luftlager selbst nach unten, während sie sich gleichzeitig selbst von der Leitoberfläche abheben. Durch getrennte Anpassung von Vakuum und Druck können die Flughöhe und Steifheit dieser vakuumvorgeladenen Luftlager optimiert werden.

Diese Anordnung ist ideal für Anwendungen, bei denen eine Vorspannung schwierig oder unmöglich ist. Es besteht sichtlich ein Kostenvorteil, da nur eine ebene Leitoberfläche benötigt wird. (Entgegengesetzte Lagervorspannung benötigt zwei ebene Leitoberflächen, die parallel sind).

Es besteht auch ein deutlicher technischer Vorteil. Sowohl die "x"- als auch die "y"-Achsen können durch eine einzige Lagerfläche gestützt werden. Außerdem kann die Einstellbarkeit der Schichtdichte dazu verwendet werden, zu fokussieren, auszugleichen und submikrometergenau über einen Bereich von mehreren Mikrometern vertikal zu positionieren.