ISARA 400 ULTRAPRÄZISIONS-KOORDINATENMESSMASCHINE
Mit dem Multi-Probe 3D-Koordinatenmessgerät (KMG) Isara 400 ermöglicht IBS Precision Engineering die Vermessung von großen komplexen Bauteilen auf Nanometer-Niveau.
Das Messvolumen wurde im Vergleich zum Vorgängermodell um den Faktor 40 erhöht auf 400 x 400 x 100 mm3 und die 1D-Messunsicherheit liegt hierbei für alle 3 Richtungen bei nur 45 nm.
Über 3 planare Laserinterferometer wird die Position eines Objektes auf einem Tisch gemäß dem Abbe-Prinzip gemessen: Um Parallaxenfehler zu vermeiden, haben die 3 Laserinterferometer ihren virtuellen Schnittpunkt im Messpunkt des Messtasters und sind zusammen mit dem Messtaster in einem steifen Metrology Frame eingebaut.
Der Produkttisch ist aus Siliziumkarbid (SiC) und sehr steif und thermisch stabil. Er ist auf einem Spiegeltisch platziert, der unter Verwendung von Luftlagern aus porösem Material in X- und Y-Richtung über eine Granitplatte bewegt werden kann. Der Spiegeltisch besteht aus einem monolithischen Block aus Zerodur mit reflektierenden Beschichtungen, welche direkt auf 3 extrem planen Oberflächen aufgebracht sind und damit 3 Spiegel bilden. Der Spiegeltisch wird direkt auf der Maschine kalibriert unter Berücksichtigung der Ebenheit und der gegenseitigen Rechtwinkligkeit zueinander von jedem der Spiegel.
Der Metrology Frame mit den 3 Laserinterferometern und dem Messtaster verfährt unter Verwendung von Luftlagern in Z-Richtung über eine Lauffläche aus Granit. Die Laserinterometer zeigen immer auf den Mittelpunkt des Messtasters und erfüllen damit das Abbe-Prinzip in 3D während der Metrology Frame (aus SiC) sehr steif ist, keinen zusätzlichen internen Freiheitsgrad hat und damit dafür keine weiteren Luftlager benötigen werden.
Der Grundrahmen besteht aus zwei Führungseinheiten – eine für das X-Y System und eine für das Z- System – verbunden zu einen stabilen Grundrahmen. Die luftgelagerten Direktantriebe für alle 3 Richtungen sind jeweils separat von dem Teil montiert, das Sie antreiben.
Die Isara 400 ist vollbestückt für ultrapräzise Leistung und hohe Bedienerfreundlichkeit. Thermische Abschirmung unterbindet Messfehler bedingt durch Unterschiede in der Wärmedehnung. Drei Vibrationsisolatoren vermeiden Störungen der Messung durch Vibrationen der Umgebung, eine automatische Produkt-Handhabung schützt vor möglichen Beschädigungen kritischer Teile verursacht durch manuelle Handhabung. Die Maschine wird ausgeliefert mit einem separaten Abbe-Messtaster-Ausrichtungs-Werkzeug und einer Kamera zur Visualisierung der Messung - welche insbesondere für die Ausrichtung des Produktes sehr hilfreich ist - zusätzlich zu einem Staubschutz und einer Schallisolation.
Zunächst wird der ultrapräzise taktile Messtaster Triskelion von IBS PE in der Isara 400 eingesetzt, mit dessen Design die Probleme der konventionellen Messsysteme gelöst werden konnte und bei denen Messunsicherheit, Messkraft und Messtasterspitze zu groß sind. Ein AFM, ein berührungslos arbeitender Messtaster oder ein optisches Messsystem können aber ebenfalls in die Maschine integriert werden.
Für alle drei Achsen ist die 1D-Messunsicherheit jeweils 45 nm und die 3D-Messunsicherheit beträgt bei vollem Hub nur 100 nm. Die Isara 400 kann zum Beispiel zur Vermessung großer Freiform-Optiken verwendet werden. Das große Messvolumen in Verbindung mit der automatischen Produkthandhabung ermöglicht die Verwendung von Paletten mit mehreren Produkten, um diese über einen Durchlauf zu vermessen.
Demo video:
Isara 400 broschüre und weitere Informationen:
Triskelion Taktiler Messtaster
IBS Precision Engineering hat einen ultrapräzisen taktilen Messtaster entwickelt, den Triskelion Messtaster. Mehr lesen >